秒速牛牛有限公司
客服:4000-228-219
技术:18966325897
电话:0711-81889812
传真:0711-81198517
地址:广东梅州珠江广场218号
邮箱:秒速牛牛@163.com
  光伏新闻 您现在的位置:主页 > 光伏新闻 >
⑶离子植入:硅晶片经输送带进入扩散炉
山东保蓝环保工程有限公司   2019-06-27 21:46

  可选中1个或多个下面的关键词,搜索相关资料。也可直接点“搜索资料”搜索整个问题。

  展开全部太阳能发电系统由太阳能电池组、太阳能控制器、蓄电池(组)组成。太阳能电池板是太阳能发电系统中的核心部分,其作用是将太阳的辐射能力转换为电能,太阳能电池板分为晶体硅电池板、非晶硅电池板、化学染料电池板。

  ⑴切晶检验:如果原料为硅晶锭,首先需要进行切晶。在切晶机中,线锯将硅晶锭切割成硅晶片,切割时自动喷洒切削油。切晶完成后用洗涤剂(普通洗洁精)对硅片作初步表面清洁,经过检验后投入下段工艺制程。如果原料为硅晶片,则直接进入下一工序。

  ⑵清洗蚀刻:硅晶片进入清洗蚀刻区后,由机械手依次放入氢氧化钾池、硫酸池、异丙醇池及氢氟酸池,清洗切割时残留的粉尘及切割液,并使硅晶片表面粗糙以利于下段离子植入工序,该岗位工人有接触氢氧化钾、硫酸、异丙醇、氟化氢的可能。

  ⑶离子植入:硅晶片经输送带进入扩散炉,关闭炉门后,经缓冲区进入内进行离子植入,由管道将三氯氧磷、氮气及氧气输入炉内,三氯氧磷与氮气及氧气在高温(600~1000℃)条件下,发生脱磷反应,磷植入晶片表层。在扩散炉内反应后可能产生氯化氢、氮氧化物等废气,有可能未被排除干净而逸散在车间空气,在离子植入岗位工人有接触三氯氧磷、氮、氯化氢、氮氧化物的可能。

  ⑷HF蚀刻:硅晶片经输送带进入HF蚀刻区,在密闭的湿蚀刻机内,由喷嘴分别将氢氟酸、盐酸、硝酸、硫酸喷到晶片表面,以蚀刻去除上工序造成的硅晶片表面的氧化层,蚀刻过程中,使用氢氟酸、盐酸、硝酸、硫酸,工人有接触上述毒物的可能。

  ⑸薄膜制作:密闭的电浆促进镀膜机内,由管道从危险品仓库输入氨和硅甲烷,在硅晶片表面蒸镀抗反射膜。

  ⑹电路印刷:使用印刷机在硅晶片表面印刷电极的标记,根据需要印刷铝膏或银膏。印刷完成后进烧结炉烘干,因使用的银膏中含有邻苯二甲酸二丁酯,工人有接触的可能,使用氨、氮和硅甲烷,工人有接触上述毒物的可能。

Copyright © 2002-2011 秒速牛牛 版权所有 网站地图 网站导航