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PECVD即等离子强化型化学气相沉积
山东保蓝环保工程有限公司   2019-02-27 14:58

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  工业生产中常采取PECVD设备制备减反射膜。PECVD即等离子强化型化学气相沉积。它的技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电使样品升温到预定的温度,继而通入适量的反应气体SiH4和NH3,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜即氮化硅薄膜。七、丝网印刷太阳电池经过制绒、扩散及PECVD等工序后,已经制成PN结,可以在光照下产生电流,为了将产生的电流导出,需要在电池表面上制作正、负两个电极。废硅料回收价钱及解决方法此刻通过对网上数据的整理解析,废硅料价钱区间浮动价钱在30-元/公斤,原生多晶硅价钱在90-140元/公斤。废硅料治理分废整片解决和废碎块料治理:1.废整片治理方法:将完整的电子级废硅圆片经过表面解决、划片后直接作为太阳能级硅片来使用,出于电子级的硅片皆是圆形(面积大能能制作出更多芯片),而太阳能级硅片是准方形的(节省电池空间),因此务必划成必需尺寸后才能使用。2.废碎块料的解决方法:(1)原生型废硅料的解决:适当清洗、烘干即可。

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